Sensofar S lynx 2白光干涉仪精度参数（北京仪光科技代理机型）

S lynx 2集成白光干涉CSI、共聚焦、AI多焦面叠加三种测量模式，不同模式下精度、测量量程存在差异，兼顾光滑镜面、粗糙表面、大台阶样品检测。

一、垂直（高度）精度

1. ePSI扩展相移干涉模式（超光滑表面） 垂直噪声＜0.1 nm，适合抛光镜面、超光滑薄膜样品；最大垂直扫描量程0.4 mm。

2. CSI白光干涉模式（常规光滑‑中等粗糙表面） 垂直噪声＜1 nm；最大垂直扫描量程7 mm；台阶高度重复性可达到＜3 nm。

3. 共聚焦模式 垂直噪声约1‑4 nm；最大垂直扫描量程36 mm，适合中等粗糙度样品。

4. AI多焦面叠加模式 适合高斜率、粗糙样品，最大可测倾斜角度86°，最大垂直扫描量程25 mm；垂直噪声会随样品粗糙度升高有所增大。

台阶高度测量不确定度参考：

• 台阶＜10 μm：U=(0.005+H/50) μm；重复性σ＜10 nm

• 台阶＞10 μm：U=(0.120+H/120) μm；重复性σ＞10 nm

二、横向（水平）分辨率

• 横向光学分辨率由物镜倍率决定，最高可达0.17 μm（100×物镜）；

• 单视场范围：117 μm～7 mm，可搭配电动XY平台实现125 mm×75 mm大区域拼接测量。

三、Z轴硬件指标

Z轴运动行程40 mm；Z轴线性度＜0.5 μm/mm；Z轴硬件定位分辨率2 nm。

四、粗糙度测量

可输出Sa、Ra等三维粗糙度参数，Sa测量重复性可达6 nm，满足材料、半导体、光学元器件的粗糙度评定需求。

五、精度使用说明

1. 精度受物镜倍率、测量模式、样品表面、环境振动、隔振条件影响；

2. 超光滑样品优先选用ePSI/CSI模式；粗糙、高台阶样品选用共聚焦或AI多焦面叠加；

3. 北京仪光科技可提供整机校准、样品实测评估服务。

补充对比

S lynx2是紧凑型机型，垂直极限精度略低于旗舰S neox系列，但体积更小、成本更友好，满足高校科研、消费电子、中小型工厂质检的绝大多数形貌检测需求。