北京仪光科技作为西班牙Sensofar国内代理商，主推台式、模块化、在线监测三大系列白光干涉（3D光学轮廓仪）设备，同时代理国产视芯光学T100白光干涉仪。

一、Sensofar台式整机系列

1. S neox（旗舰型，含S neox 6新一代）

• 定位：高端全能型3D光学轮廓测量系统，实验室/工厂质检通用旗舰机型

• 核心技术：集成PSI、CSI、EPSI相移干涉、共聚焦、AI多焦面叠加，测量头无运动部件；垂直分辨率可达0.01 nm，支持大视场物镜（可选0.65X大视场物镜，用于平面度、平行度、台阶高度测量）

• 可选配置：高精度XY自动扫描平台、五轴系统、大行程载物台；可做大面积拼接测量、薄膜厚度测量

• 适用场景：半导体晶圆、光学镜片、精密模具、新材料科研、航空零部件检测

2. S lynx 2（紧凑型多功能机型）

• 定位：小型化、高性价比台式白光干涉共聚焦显微镜，体积紧凑，适合实验室、产线质检

• 核心技术：干涉+共聚焦+AI多焦面叠加三合一测量模式；兼顾纳米级光滑表面与粗糙表面测量，采集速度快

• 特点：机身小巧，可放置在有限空间；支持粗糙度、台阶、体积、临界尺寸测量

• 适用场景：消费电子、材料研发、高校科研、中小型企业质检

二、Sensofar模块化传感器系列

S mart 2 传感器（在线/集成式测量头）

• 定位：非台式，可集成到产线、设备原位测量，CMP抛光垫在线监测专用传感器

• 特点：轻量化传感器头，支持浸没环境测量；集成干涉、共聚焦、AI多焦面叠加；可在抛光机原位完成垫面粗糙度检测，无需把样品取下

• 适用场景：半导体CMP工艺在线监控、自动化产线集成检测

三、国产代理型号：视芯光学 T100 白光干涉仪

• 定位：国产3D光学轮廓仪，性价比方案

• 应用：半导体、材料、磨痕形貌、金属断口形貌等常规三维形貌检测。

各型号选型简要对比

说明：S neox可以选配不同物镜、XY平台，衍生多种配置版本；0.65X是S neox专用大视场物镜，不是独立整机型号。