感应耦合等离子化学气相沉积系统（Inductively Coupled Plasma Chemical Vapor Deposition，ICP-CVD）是一种利用高密度感应耦合等离子体激发反应气体，在较低温度条件下实现薄膜沉积的先进制备设备。该系统通过射频电源在感应线圈中产生高密度等离子体，使前驱体气体发生电离和化学反应，并在基底表面形成均匀致密的功能薄膜。相比传统化学气相沉积技术，ICP-CVD具有等离子体密度高、沉积温度低、沉积速率快、薄膜质量好以及对复杂结构覆盖性优异等特点。该设备广泛应用于半导体制造、微纳电子器件、光电子器件、MEMS、二维材料及功能薄膜制备等领域，可用于沉积硅基薄膜、氮化物、氧化物、碳基薄膜以及各类介电和保护层材料，为先进材料与器件研发提供重要技术支撑。
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子化学气相沉积系统 | ||
| 品目 | 货物/设备/仪器仪表/分析仪器/其他分析仪器 | ||
| 采购单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | ||
| 行政区域 | 上海市 | 公告时间 | 2026年06月10日 13:15 |
| 开标时间 | 2026年07月01日 09:45 | ||
| 预算金额 | ￥320.000000万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 陈永亮、唐 闽 | ||
| 项目联系电话 | 86-21-66285392，18361672958 | ||
| 采购单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | ||
| 采购单位地址 | 上海长宁区长宁路865号 | ||
| 采购单位联系方式 | 纪老师 86-21-62511070 | ||
| 代理机构名称 | 上海中招招标有限公司 | ||
| 代理机构地址 | 上海市静安区恒丰路600号机电大厦5楼B座办公室 | ||
| 代理机构联系方式 | 陈永亮、唐 闽 86-21-66285392，18361672958 | ||
| 附件： | |||
| 附件1 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子化学气相沉积系统 - 国际招标重新招标公告.pdf | ||
| 附件2 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子化学气相沉积系统 - 国际招标澄清或变更公告(1).pdf | ||
| 附件3 | 购买标书登记表（国际标）.xlsx | ||
来源：中国政府采购网