目概况
中国科学院半导体研究所电感耦合等离子体干法刻蚀机采购项目 招标项目的潜在投标人应在www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层获取招标文件，并于2026年08月03日 09点30分（北京时间）前递交投标文件。
一、项目基本情况
项目编号：OITC-G260571652
项目名称：中国科学院半导体研究所电感耦合等离子体干法刻蚀机采购项目
预算金额：520.000000 万元（人民币）
最高限价（如有）：520.000000 万元（人民币）
采购需求：
1、采购项目的名称、数量：
包号 | 货物名称 | 数量 （台/套） | 是否允许采购进口产品 | 采购预算（万元人民币） |
1 | 电感耦合等离子体干法刻蚀机 | 1 | 是 | 520 |
投标人可对其中一个包或多个包进行投标，须以包为单位对包中全部内容进行投标，不得拆分，评标、授标以包为单位。
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 中国科学院半导体研究所电感耦合等离子体干法刻蚀机采购项目 | ||
| 品目 | 货物/设备/仪器仪表/分析仪器/多种原理分析仪 | ||
| 采购单位 | 中国科学院半导体研究所 | ||
| 行政区域 | 北京市 | 公告时间 | 2026年07月13日 09:48 |
| 获取招标文件时间 | 2026年07月13日至2026年07月20日 每日上午:9:00 至 11:00 下午:13:00 至 17:00（北京时间，法定节假日除外） | ||
| 招标文件售价 | ￥600 | ||
| 获取招标文件的地点 | www.oitccas.com；北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 | ||
| 开标时间 | 2026年08月03日 09:30 | ||
| 开标地点 | 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层科进厅 | ||
| 预算金额 | ￥520.000000万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 窦志超、曹山 | ||
| 项目联系电话 | 010-68290529 | ||
| 采购单位 | 中国科学院半导体研究所 | ||
| 采购单位地址 | 北京市海淀区清华东路甲35号 | ||
| 采购单位联系方式 | wangp0912@semi.ac.cn | ||
| 代理机构名称 | 东方国际招标有限责任公司 | ||
| 代理机构地址 | 北京市海淀区丹棱街1号互联网金融中心20层 | ||
| 代理机构联系方式 | 窦志超、曹山 010-68290529 | ||
| 附件： | |||
| 附件1 | 采购需求.pdf | ||
来源：中国政府采购网