近日，国家标准计划《表面化学分析 扫描探针显微术 近场光学显微镜横向分辨的定义和校准》（计划号：20260910-T-491）正式进入征求意见阶段。该标准由全国表面化学分析标准化技术***会（TC608）负责归口管理，主管部门为中国科学院，计划周期为12个月，预计标准发布后3个月正式实施。
据了解，该标准等同采用国际标准ISO 27911:2011，技术内容与国际标准保持一致。主要起草单位包括中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院有限公司、国家纳米科学中心、上海第二工业大学以及北京大学等科研机构。标准的制定将填补我国近场光学显微镜（SNOM）横向分辨率校准领域的标准空白，为相关仪器性能评价及实验数据比对提供统一规范。
扫描近场光学显微镜（SNOM）是扫描探针显微镜（SPM）的重要组成部分，通过探测近场光学信号突破传统光学显微镜的衍射极限，实现纳米尺度下材料结构和光学特性的分析。其中，横向空间分辨率是衡量SNOM成像能力和检测数据可靠性的关键指标。
长期以来，由于缺少统一的测试方法，行业内对于SNOM横向分辨的评价方式存在一定差异，不同实验室之间的数据可比性受到影响。本次制定的标准提出了一种规范化、可操作的校准方法，可用于评价SNOM设备性能，推动检测结果的一致性和可靠性提升。
根据标准内容，该方法主要适用于有孔径结构的SNOM设备，包括透射模式、反射模式、集光模式以及照明/集光组合模式运行的孔径型近场光学显微镜。标准采用尺寸远小于仪器预期分辨率的荧光纳米材料（例如量子点）作为测试对象，通过获取单个量子点的SNOM荧光图像，分析点扩散函数（PSF）的二维分布，并利用半高全宽（FWHM）作为横向分辨能力的评价指标。
为验证该测试方法的科学性和可行性，标准参考了ISO 27911:2011附录A中的案例研究结果。相关验证显示，该方法具有较好的操作性和稳定性，可有效支持SNOM设备校准、性能评估以及不同实验室之间的测量结果比较。
业内认为，随着该标准的制定和实施，近场光学显微镜横向分辨测量流程将进一步规范，有助于提升纳米光学成像数据的准确性、重复性和应用价值。同时，该标准也将促进SNOM技术在表面化学分析、纳米材料研究、生物检测等领域的发展。
未来，该标准将与已发布的GB/T 43661-2024《表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准》等相关标准共同完善我国扫描探针显微技术标准体系，为表面分析领域的规范化发展提供重要支撑。