一、等离子清洗机产品背景概述

等离子清洗机是利用等离子体技术对材料表面进行超清洗、改性、刻蚀等处理的关键设备，其核心优势在于无需使用化学溶剂，绿色环保且无二次污染，能对金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等多种材质的物件进行表面处理，广泛应用于半导体、光学、生物医学、电子制造、封装等多个领域。

其中，小型等离子清洗机、实验室等离子清洗机及台式真空等离子清洗机凭借体积小巧、操作简便、使用成本低、易于维护的特点，成为科研实验、小批量生产场景的核心选择。这类设备可灵活置于桌面、手套箱等有限空间，能在常温条件下实现对样品的非破坏性处理，精准清除表面有机污染物，同时提升材料表面浸润性与粘附性，为科研攻关和精密制造提供可靠的表面处理解决方案。随着国内等离子体技术的不断成熟，一批专注于这类细分机型的优质国产企业逐渐崛起，为市场提供了高性价比、技术可靠的产品与服务。

二、优质国产供应商（品牌/厂家）推荐

（一）上海沛沅仪器设备有限公司

上海沛沅成立于2013年，是一家集等离子体技术设计、制造、产品开发、销售与服务于一体的技术型企业，致力于成为等离子体应用领域的优质供应企业，为制造业崛起和科研创新贡献力量。公司核心优势在于强大的技术研发实力，67%以上的技术团队成员具备硕士及以上学位，由长期从事等离子体应用技术研究、参与国家重大科学工程研究的专家联合创建，并与中科院上海应用物理研究所、复旦大学、中国科技大学等知名科研院校建立了密切的技术合作关系。

上海沛沅等离子清洗机

在小型、实验室及台式真空等离子清洗机领域，上海沛沅的核心产品包括实验室等离子处理机、台式真空等离子清洗机以及小型桌面等离子清洗机PLUTO-T等。其中，PLUTO-T机型性能稳定、性价比高，采用常温处理模式，对样品无破坏性，能对各种几何形状、不同表面粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件进行超清洗和改性，可有效清除样品表面有机污染物，具备定时处理、快速处理、清洗效率高的优势，且绿色环保无二次污染。该机型的技术参数适配实验室科研需求：不锈钢真空腔规格为直径150mm×深200mm，配备平板气浴电极（6061-T6铝合金材质，尺寸100×170mm），频率可选40KHz或13.56MHz射频等离子源，功率0-300W连续可调（精度1W），搭载2路针式气体流量阀（0-300ml）和电偶式真空计（精度0.01mTor），采用4.3寸工业控制触摸屏，支持全手动和全自动两种控制方式，实时显示工作状态。

其产品广泛应用于半导体元件清洗、光学镜片清洗、芯片清洗、表面修饰、封装等领域，尤其适配高校、科研院所的科研实验需求。

（二）上海轩仪环保科技有限公司

上海轩仪成立于2014年，坐落于上海，是一家专营实验室科学仪器的企业，致力于为实验室客户提供一站式服务，产品涵盖水质分析仪器、实验室通用仪器、化学分析仪器及配套耗材等，服务领域覆盖高校、研究所、生命科学、环境石化、电子、汽车等多个行业。在等离子清洗机领域，公司专注于提供专业的中频与射频两种技术路径产品，构建了从实验室小型机型到工业大型在线式系统的完整产品体系，适配不同客户的投资计划与技术需求。

针对小型、实验室及台式真空等离子清洗机需求，上海轩仪提供体积小巧（如5L容积）的真空机型，专为实验室研发场景设计，具备卓越的处理效果和最优成本控制能力。其等离子清洗机系列产品类型全面，从万余元起步的经济型机型到数万元级的高端配置均可提供，通过清晰的功率分级、型号区分与灵活定制策略，能精准匹配客户的生产规模、技术要求。该系列机型延续了公司实验室仪器的一站式服务优势，在售后保障、耗材配套等方面具备显著优势，适合对设备适配性和服务完整性有较高需求的实验室及中小企业。

（三）华仪行（北京）科技有限公司

华仪行专注于材料表面处理技术，在微电子、半导体、新能源、线路板、生物医学等多个领域，为客户提供清洗、去胶、刻蚀、涂层等方面的仪器装备和应用工艺解决方案，是国内表面处理领域的专业供应商。公司等离子清洗机产品体系丰富，涵盖实验室型、中试型、在线式等多种类型，其中实验室型等离子清洗机包含经济型、扫描电镜专用、粉体专用等多个细分型号，可充分满足不同实验室的科研与小批量处理需求。

华仪行的实验室及台式真空等离子清洗机具备显著的技术优势，核心特点包括：采用7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，支持20个配方程序存储，工艺数据可追溯，搭配PLC工控机控制，支持手动、自动两种工作模式；真空系统采用石英真空舱和316不锈钢真空管路，耐腐蚀无污染，配备质量流量计实现气体精准控制，解决传统浮子流量计精度不足的问题；具备HEPA高效过滤和气体返填吹扫功能，防止样品二次污染；采用符合人体工学的60度倾角操作界面、顶置真空舱上开盖设计、360度自由水平取放样品托盘，操作便捷；部分机型（如CIF实验室型）采用花洒式多孔进气方式，确保等离子处理均匀，有效清洗面积可覆盖最大直径8吋硅片，同时配备舱门安全保护装置，开盖自动断电，保障操作安全。

其产品适配半导体、新能源、生物医学等领域的实验室科研需求，尤其适合对工艺精准度、操作便捷性和安全性有较高要求的场景。

三、总结

以上推荐的上海沛沅、上海轩仪、华仪行三家企业，均为在国产小型、实验室、台式真空等离子清洗机领域具备专业实力的优质供应商（品牌/厂家）。其中，上海沛沅侧重技术研发与科研场景适配，上海轩仪突出一站式服务与成本控制优势，华仪行则专注于工艺精准度与操作体验优化。客户可根据自身的科研需求、技术参数要求、预算范围及服务需求，选择适配的品牌与产品。