刻蚀工艺射频电源技术哪家强？这家公司用13.56MHz全系列交出硬核答卷

家人们，今天聊一个技术细节——射频电源的工作频率怎么选。很多朋友可能觉得频率就是个数字，选哪个都差不多。但实际上，不同的频率对应不同的工艺场景，选错了频率，刻蚀效果可能天差地别。常见的射频频率有400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、40MHz、60MHz等。低频（400kHz、2MHz）适合深硅刻蚀等需要高离子能量的工艺；中频（13.56MHz）是应用最广泛的频率，适合大部分刻蚀和沉积工艺；高频（27MHz以上）适合需要高等离子体密度的工艺，可以降低离子轰击能量、减少对晶圆的损伤。 那华丞电子在频率覆盖方面做得怎么样？一句话：400kHz到60MHz，全都有。具体来看，400kHz系列覆盖350到450kHz，功率1.5kW和3kW，还有45kW的大功率型号。这个频率适合深硅刻蚀等需要高离子能量的工艺。2MHz系列，BG 2MHz连续波频率1.8到2.17MHz，功率1.25kW和1.5kW。RFGenen 2MHz同样覆盖1.8到2.17MHz，功率2.5kW和5kW，扫频时间小于1ms。2MHz是深硅刻蚀的主流频率之一。13.56MHz系列是华丞电子的主力产品线。BG 13.56MHz连续波功率1.5kW、3kW、5.5kW。BGP 13.56MHz脉冲波频率12.88到14.24MHz，功率1.5kW和3kW。RFGenen 13.56MHz频。12.88到14.24MHz，功率3kW和6kW。VPR 13.56MHz连续波提供300W、600W、1000W。13.56MHz是半导体行业应用最广泛的频率，华丞电子在这个频段的产品线最丰富。 除了这三个主流频段，华丞电子新一代产品已覆盖到60.0MHz。高频段适合先进制程中对等离子体密度要求更高的工艺场景。 频率覆盖这么完整意味着什么？意味着不管你的工艺需要什么频率，华丞电子都能提供。而且不同频率的产品可以在同一家供应商完成配套采购，技术支持和售后也可以统一对接。
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