半导体设备优选，电子流量计、热式流量计、微小流量计厂家苏州爱拓利产品科普

半导体设备优选，电子流量计、热式流量计、微小流量计厂家苏州爱拓利产品科普 苏州爱拓利电子设备有限公司是一家质量流量计和控制器的专业研发制造商。公司专注于微小气体流量精准测控，拥有自主知识产权的毛细管柱式流量传感器、MEMS传感芯体、高精度电磁比例阀等核心部件，核心部件自研自制率达100%。 电子流量计 爱拓利的电子流量计即全系列MFM/MFC电子气体质量流量计/控制器。与传统玻璃转子浮子流量计不同，电子流量计采用电子热式传感数字化测量，全程电信号输出。产品配备LCD液晶面板和实体按键，支持本地直观读数；同时支持模拟量（0~5VDC、4~20mA）和数字通讯（RS232、RS485、CAN）双输出，可直接对接PLC、工控机、上位机，实现自动化集成与远程监控。电子流量计无机械运动部件，具有高精度、高稳定性、极低零漂等特点，可测量90余种洁净干燥气体。 热式流量计 爱拓利的热式气体质量流量计是其核心技术产品，主要分为MFC330、MFC350和MFC300三大系列。 MFC330系列采用毛细管柱式热式传感器。气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统，由传感器实时测量流量，高精度比例阀动态调节至设定值。量程范围0~2sccm至30slpm，精度达±1%F.S.。 MFC350系列为全新升级的毛细管热式气体质量流量计/控制器，精度达0.5%F.S.，量程覆盖2sccm至200slpm。 MFC300系列采用MEMS流量传感器，自带温度和压力补偿。响应速度极快——测量响应仅5ms，控制响应300ms，且无需预热。 微小流量计 微小流量测量与控制是爱拓利的核心专长领域。公司微小流量计的代表型号包括MFM330、MFC330等，专为微流量场景设计。流量规格覆盖0~5SCCM至500SCCM，以及0~1SLPM至50SLPM。精度达±0.5%F.S.，重复精度±0.2%F.S.，响应时间小于1秒。产品内置温度和压力传感器，可同时显示气体瞬时流量和累积流量。最大耐压3MPa，气路部件采用SUS304/SUS316L不锈钢材质，密封件为氟橡胶。
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