一、项目编号：0834-2541SH25A707（招标文件编号：0834-2541SH25A707）
二、项目名称：中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统
三、中标（成交）信息
供应商名称：Future Speeds Technologies Ltd.
供应商地址：Craigmuir Chambers, Road Town, Tortola, VG 1110, British Virgin Islands
中标（成交）金额：606.7176000（万元）
四、主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| 1 | Future Speeds Technologies Ltd. | MEMS晶圆双面对准与光刻系统 | Future Speeds Technologies Ltd. | 非标 | 1台 | 6067176 |
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统 | ||
| 品目 | 货物/设备/仪器仪表/试验机/工艺试验机 | ||
| 采购单位 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | ||
| 行政区域 | 上海市 | 公告时间 | 2025年12月23日 13:18 |
| 评审专家名单 | 戴维林、戴 宁、蔡 勇、叶军安、杨继业 | ||
| 总中标金额 | ￥606.717600 万元（人民币） | ||