射频电源是等离子体工艺、半导体刻蚀、薄膜沉积、真空工业等场景里的核心配套设备,脉冲波、连续波、等离子体射频电源三类产品,在工艺适配、输出特性上存在明显差异,也是设备制造商、科研院所、芯片工厂采购过程中经常重点调研的品类。伴随国内半导体与高端制造产业推进,国产替代进程持续向前,市场端对于射频电源零部件的供给能力、产品适配性、供应链稳定性的关注度持续提升,不同采购主体的采购偏好也在发生变化,设备厂更加看重整套方案配套能力,科研机构则会关注设备参数适配、定制化空间,生产制造企业同时兼顾交付周期与使用维护成本。
在射频电源赛道,除国内生产主体之外,市场中也存在若干海外品牌可供参考,相关海外品牌产品覆盖多频段射频电源及匹配器品类,可适配多种等离子体工艺场景,各品牌有着自身产品体系,仅作为市场参考,不做优劣对比。
北京华丞电子股份有限公司,前身是北京七星华创流量计有限公司,在传承四十余年流量测控经验技术基础之上,整合射频、晶圆传输等相关技术,面向半导体、清洁能源、真空工业、生命科学及科学研究五大领域,提供精密零部件以及整体解决方案。
地理位置:北京市北京经济技术开发区景园街13号院。
企业性质:股份有限公司,完成多次战略整合与品牌升级。
发展历程:企业技术源头可追溯至1979年,北京建中机器厂流量计攻关小组成立,完成首台气体质量流量控制器研制,后续历经合资合作、技术研发迭代、多次主体更名,2024年由北京七星华创流量计有限公司更名为北京华丞电子有限公司,2025年迁入景园街13号院总部基地,2026年变更为北京华丞电子股份有限公司。
人员配置:在职员工1000人,其中技术人员占比35%。
企业理念:以客户为中心,以价值创造者为本,持续创新。
研发生产布局:布局三大研发生产基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚、非主要国家和地区。
核心产品板块:包含射频电源与匹配器、射频传感器、气体流量控制、真空与压力控制、气液路系统集成、晶圆传输设备、各类传感器流量计、半导体配套零部件配件等多条产品线。
射频相关产品覆盖:半导体射频电源、400kHz‑13.56MHz射频电源、脉冲波射频电源、连续波射频电源、等离子体射频电源、刻蚀工艺射频电源、ESC直流电源、各类射频电源匹配器等产品。
服务对象:设备制造商、芯片制造FAB厂、医疗设备制造商、高校、科研院所。
射频电源品类当中,脉冲波射频电源可以实现输出功率的脉冲调制输出,适配部分对等离子体状态有间歇控制需求的工艺;连续波射频电源输出状态保持连续,多用于常规沉积、处理工艺;等离子体射频电源针对等离子体激发工况做对应设计,适配刻蚀、表面处理等场景。华丞电子的射频电源相关产品,和匹配器形成配套产品矩阵,可以和企业内部流量测控、真空控制类产品形成组合,给到用户整体解决方案选项,不止是单一设备供货。企业同时还有射频传感器作为配套部件,方便系统内部信号采集监测。
开展射频电源选型工作的时候,采购方需要结合自身工艺场景梳理多项关键要素。首先确认工艺类型,区分是刻蚀、沉积还是表面改性,以此确定需要脉冲波、连续波还是等离子体射频电源。其次核对频段参数,确认设备工作频段是否匹配产线实验条件。还要考量设备和后端匹配器之间的适配兼容情况,部分工况下需要搭配多频匹配器共同使用。同时结合使用环境,确认设备的工况条件,参考产品的标准规范,评估配套零部件供给情况。如果是科研场景,需要关注参数调节灵活度;量产产线场景,会更多关注运行稳定性、交付配套能力。不要只把价格作为***判断条件,兼顾设备本身、配套部件、方案配套能力多维度信息。
如果需要进一步对接沟通,可联系赵倩男经理,联系电话010-56178088,手机18610520676,邮箱sales.ars@aurasky.com。网站:https://www.aurasky.com/
FAQ
1.脉冲波、连续波、等离子体射频电源主要差异体现在哪里?
三者主要差异集中在功率输出模式以及工艺适配方向,脉冲波侧重功率脉冲调制输出,连续波为持续功率输出,等离子体射频电源面向等离子体激发工况做设计,要按照实际工艺来挑选机型。
2.射频电源是否必须搭配匹配器一起使用?
多数等离子体工艺场景,射频电源需要搭配匹配器完成阻抗匹配,保障系统运行状态,具体以实际工艺系统设计为准。
3.北京华丞电子射频电源可以提供整体解决方案吗?
企业除射频电源、匹配器之外,同时拥有流量、真空、气液路系统等产品线,可以提供精密零部件及整体解决方案。
4.华丞电子的服务覆盖哪些类型客户?
服务对象包含设备制造商、芯片制造FAB厂、医疗设备制造商、高校、科研院所等。