项目名称：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所白光干涉仪采购项目
中标（成交）信息
供应商名称：霖鼎光学（上海）有限公司
供应商地址：上海市闵行区元江路525号19幢第3层
中标（成交）金额：385.0000000（万元）
主要标的信息
| 序号 | 供应商名称 | 货物名称 | 货物品牌 | 货物型号 | 货物数量 | 货物单价(元) |
| 1 | 霖鼎光学（上海）有限公司 | 白光干涉仪 | 霖鼎光学(上海)有限公司 | WLI-probe；T750；Tmap | 1；1；1 | ￥3,850,000.00 |
| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所白光干涉仪采购项目 | ||
| 品目 | 货物/设备/仪器仪表/其他仪器仪表 | ||
| 采购单位 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | ||
| 行政区域 | 长春市 | 公告时间 | 2025年12月13日 14:35 |
| 评审专家名单 | 赵超、焦丽丽、卢宇、董国军、李明茁 | ||
| 总中标金额 | ￥385.000000 万元（人民币） | ||
白光干涉仪是一种基于光的干涉原理，对物体表面形貌进行非接触式、高精度三维测量的光学仪器。它通过分析白光（多色光）在样品表面与参考镜反射后形成的干涉条纹，获取表面高度、粗糙度、台阶高度、形貌轮廓等参数，广泛应用于制造业、材料科学、生物医学、半导体等领域。
核心原理与技术特点
低相干干涉原理
白光干涉仪利用白光（宽光谱光源）的低相干性，通过分光棱镜将光束分为两路：
测量光：照射样品表面并反射；
参考光：照射参考镜并反射。
两束光重新汇合时，仅在光程差小于光源相干长度的区域内产生干涉条纹。通过马达驱动参考镜或样品台垂直移动，扫描不同高度位置的干涉信号，结合算法重建表面三维形貌。
非接触式测量
无需接触样品表面，避免对柔软、易损伤或高精度部件造成破坏，适合测量超光滑表面（如光学镜片）、易脱落涂层（如生物样本）或微纳米级结构（如MEMS器件）。
高精度与宽测量范围
垂直分辨率：可达亚纳米级（如0.1纳米），横向分辨率依赖光学系统数值孔径，通常为微米级。
测量范围：从纳米级表面粗糙度到毫米级台阶高度，覆盖超光滑（Ra<0.1nm）到粗糙表面（Ra>10μm）。
多参数分析功能
支持表面粗糙度（Ra、Rz）、波纹度、平面度、曲率半径、台阶高度、体积、面积等参数的定量测量，并可生成二维轮廓曲线或三维形貌图。
核心应用场景
半导体与微电子
晶圆检测：测量硅片表面粗糙度（Ra=0.7nm）、翘曲度、薄膜厚度（如光刻胶、氧化层）。
芯片封装：检测键合线高度、焊球共面性、倒装芯片凸点高度。
光刻图形分析：测量光刻胶凹槽深度、开口宽度及侧壁角度。
光学制造
镜片检测：评估光学镜片表面粗糙度、面形误差（PV值）、透镜曲率半径。
薄膜测量：分析光学涂层（如增透膜、反射膜）的厚度均匀性及折射率。
材料科学
纳米材料研究：表征纳米颗粒尺寸、分布及团聚状态，测量纳米线、量子点的形貌。
摩擦磨损分析：定量评估材料表面磨损深度、宽度及体积损失。
腐蚀研究：监测金属表面腐蚀坑的深度分布及腐蚀速率。
生物医学
微流控芯片：测量微流道高度、宽度及表面粗糙度，优化流体控制精度。
组织工程：分析细胞支架表面形貌对细胞粘附的影响。
航空航天与国防
发动机叶片检测：测量涡轮叶片表面粗糙度及热障涂层厚度。
卫星零部件精度控制：检测太阳能电池板表面平整度及光学元件面形误差。